廢液處理

最終處理場所浸出液的脫鹽、浓缩,废液的脱盐、浓缩等
 

半導體工序廢液用途实例:

废液的脱盐、浓缩(半導體工序廢液)

電滲析

Item (unit) 原液 脫鹽水 濃縮液
(NH4)2SO4(g/L) 30 7.6 100
流量(m3/day) 1.1 0.84 0.26

半導體工序廢液要点:

實現廢液的減容化